噴膠機(jī)性能要求
1.可用于對(duì)不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8寸。
2.可對(duì)不同粘度的膠進(jìn)行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
3.可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
4.噴膠均勻性要求：?jiǎn)纹砻妗堋?5%，片間為≤±10%。
5.計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
6.可手動(dòng)卸載基片。
7.噴膠室易清洗。
8.供膠流速和流量可編程。
9供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
10.適用于所有光刻膠和聚合物。
11.具有自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測(cè)量膠量，并具有膠液回吸功能。

12.基片可對(duì)準(zhǔn)。